GF-150 Индикатор плоскостности

Система представляет собой интерферограф скользящего падения, обеспечивающий прецизионное измерение плоскостности шлифованных и полированных пластин диаметром до 150 мм (6"). Система используется для измерения плоскостности полупроводниковых пластин, оптических компонентов, а также геологических образцов. В отличие от традиционных интерферометров Физо, данная система позволяет проводить измерения неотражающих поверхностей и идеально подходит для анализа образцов, прошедших операции шлифовки и/или полировки. При использовании стандартного интерферометра Физо в зависимости от используемой длины волны расстояние между интерференционными полосами составляет около 0.3 мкм. Малое расстояние между полосами накладывает ограничения и значительно усложняет анализ плоскостности сильноотражающих материалов. Интерферометр Logitech GI20 решает эту проблему путем отражения лазерного света при скользящем угле падения у поверхности образца. Направление луча под углом обеспечивает отображение интерференционных полос образцов как с отражающей, так и с неотражающей поверхностью. Интерферограмма выводится прямо в процессе проведения измерений на 7" TFT –экран. Система имеет высокий уровень контраста даже при измерении полированных образцов с шероховатостью поверхности Ra до 300 нм. Оценку интерференционной картины можно проводить как непосредственно на экране, так и выгружая захваченное изображение с помощью USB интерфейса.


Технические характеристики:
Максимальный размер подложек Ø 150 мм (6")
Шероховатость поверхности эталона (Ra) От 1 до 300 нм
Расстояние между интерференционными полосами 2 мкм
Электропитание 240В/110В, 50 Гц
Габариты (ШxГxВ) 430x602x260 мм
Вес 24 кг